PCB装置

• 適用分野
• 垂直式プラズマデスミア装置
• 水平式プラズマ処理装置
• プラズマ完全自動装置
• ロール to ロールプラズマ装置

半導体/LED装置

• 適用分野
• バッチ式（Box Type）手動装置
• 枚様式プラズマ装置
• フロープラズマ装置
• ウェハーアッシング/洗浄装置

TSP/OLED装置

• Pol Film 附着機
• ACF 附着機
• FPCB 附着機
• COG 附着機
• BLU 組立機
• Auto Cell 附着機
• Auto RTR　真空附着機

大気圧プラズマ装置

• 適用分野
• 装置

コーティング（PVD/PECVD）装置

スパッタガン

金属熱/表面処理装置

• 大容量プラズマ窒化装置
• JS処理(低温窒化)装置
• PECVD装置および特殊合金表面熱処理技術
• 高真空加圧真空熱処理(光輝熱処理)

(超精密)自動化装置開発＆製作

自動化装置製作実績

プラズマ微細粉塵集塵殺菌装置

プラズマ悪臭分解装置

紫外線物殺菌装置

PCB / PKG基板プラズマ処理

金属熱処理/表面処理